クライオポンプ

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2024年9月
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