CO2インキュベーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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