CO2インキュベーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年8月
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