CO2インキュベーター
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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