CMP装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
2026年6月
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