CMP装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年11月
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