CMP装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年7月
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