CMP装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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