CMP装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年7月
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