CMP装置

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年9月
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