CMP装置

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年10月
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