バイオシェイカー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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