バイオシェイカー
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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