バイオシェイカー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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