バイオシェイカー

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  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

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  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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