バイオシェイカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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