バイオシェイカー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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