バイオシェイカー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年11月
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