バイオシェイカー

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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