バイオシェイカー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年12月
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