バイオシェイカー

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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