バイオシェイカー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年6月
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