バイオシェイカー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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