バイオシェイカー
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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