バイオシェイカー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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