バイオシェイカー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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