バイオシェイカー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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