バイオシェイカー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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