バイオシェイカー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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