バイオシェイカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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