バイオシェイカー

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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