バイオシェイカー

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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