バイオシェイカー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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