防振台

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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