防振台

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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