防振台

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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