防振台

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  2. 複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…

  3. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  4. エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…

  5. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  6. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  7. ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…

  8. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…

  9. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  10. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  1. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  3. クイックコーター サンユー電子 SC-701

  4. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  7. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  8. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  9. 走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …

  10. パルスユニット アルバック A2KH-25

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