防振台

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  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  4. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

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  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. 高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  10. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  1. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  2. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  4. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  5. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  9. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  10. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

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