防振台

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  5. デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 &#8…

  6. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  7. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  8. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  9. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  10. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  1. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  5. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  6. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  7. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  10. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

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