防振台

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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