防振台

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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