防振台

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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