防振台

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  3. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

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  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  9. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

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  2. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  3. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…

  9. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  10. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

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