防振台

  1. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  2. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  5. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  6. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…

  10. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  1. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  2. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  4. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  6. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  7. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  8. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  9. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

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