防振台

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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