防振台

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  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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