エアーサンプラー

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  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

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  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

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  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

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  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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