エアーサンプラー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年7月
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