エアーサンプラー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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