エアーサンプラー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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