エアーサンプラー

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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