エアーサンプラー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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