エアーサンプラー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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