エアーサンプラー

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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