エアーサンプラー

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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