エアーサンプラー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年8月
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