エアーサンプラー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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