エアーサンプラー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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