エアーサンプラー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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