エアーサンプラー

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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