エアーサンプラー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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