エアーサンプラー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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