株式会社未来産業技術研究所
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品名:エアーシャワーメーカー:オリエンタル技研 型式:CSA-100Aクリーンルームなどの入口に設置される箱型の装置です。HEP…
メーカー:メルク 型式:MS-100サンプリング量:50, 100, 250, 500, 1000リットルクリーンルーム及び関連制御環境−微生物汚…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…