エアーサンプラー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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