エアーサンプラー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年7月
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