エアーサンプラー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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