エアーサンプラー

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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