エアーサンプラー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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