エアーサンプラー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年7月
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