エアーサンプラー

  1. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年8月
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