エアーサンプラー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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