エアーサンプラー

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  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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