エアーサンプラー

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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