エアーサンプラー

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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