エアーサンプラー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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