エアーサンプラー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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