株式会社未来産業技術研究所
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品名:エアーシャワーメーカー:オリエンタル技研 型式:CSA-100Aクリーンルームなどの入口に設置される箱型の装置です。HEP…
メーカー:メルク 型式:MS-100サンプリング量:50, 100, 250, 500, 1000リットルクリーンルーム及び関連制御環境−微生物汚…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…