エアーサンプラー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年6月
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