エアーサンプラー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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