エアーサンプラー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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