エアーサンプラー

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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