エアーサンプラー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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