エアーサンプラー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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