エアーサンプラー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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