エアーサンプラー

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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