エアーサンプラー

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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