エアーサンプラー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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