エアーサンプラー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年11月
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