エアーサンプラー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年10月
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