エアーサンプラー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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