エアーサンプラー

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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