エアーサンプラー

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  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

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  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

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  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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