Ｘ線回析装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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