表面性試験機

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年10月
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