表面分析装置

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年9月
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