薄膜

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年12月
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