薄膜

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. セラミック電気管状炉　アサヒ理化　ARF-30K / AMF-N
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年10月
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