絶対圧力計

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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