積層装置

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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