積層装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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