研究機器

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年10月
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