波形モニター
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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