有機EL

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  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. RF電源　RFPP　RF20S

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年11月
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