排水管検査システム

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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