半導体製造前工程

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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