半導体製造前工程

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年8月
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