半導体製造前工程

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年10月
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