ラビング装置

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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