ラビング装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年10月
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