ラビング装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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