マニュアルプローバー
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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