ポリッシャー
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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