ポリッシャー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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