プラズマコーター

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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