プラズマクリーナー

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年7月
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