ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2024年11月
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