ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年11月
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