ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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