ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年7月
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