バンプボンダー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. RF電源　RFPP　RF10S
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
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