バンプボンダー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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