バンプボンダー

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年11月
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