バンプボンダー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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