バンプボンダー

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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