バラトロン真空計

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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