ナノインデンター

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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