ナノインデンター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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