コーティング装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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