エスペック

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年7月
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