エアー吸着マット

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年8月
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