エアードライヤー

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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