ウェハー研磨機

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年8月
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