Ｘ線回析装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年8月
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