Ｘ線回析装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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