Ｘ線回析装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 恒温槽　エスペック　PH-402

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年9月
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