除振台

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年5月
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