除振台
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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