表面性試験機

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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