表面性試験機

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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