粒度分布計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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