水冷チラー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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