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  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  6. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  7. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  8. 恒温恒湿槽

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