恒温油槽

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  2. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  5. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  6. ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E

  7. パルスユニット アルバック A2KH-25

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  9. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW

  10. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

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