恒温油槽

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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