微細転写装置

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年6月
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