岩下エンジニアリング

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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