圧電素子

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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