圧電素子

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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