圧電素子

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  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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