圧電素子
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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