株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Messtek 型式:M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7