圧電素子

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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