圧電素子

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  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

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  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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