圧電素子

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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