圧電素子

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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