圧電素子

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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