圧電素子

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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