圧電素子

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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