株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Messtek 型式:M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600