圧電素子

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  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

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  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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