圧電素子

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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