圧電素子

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  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

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  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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