圧電素子

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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