株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Messtek 型式:M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…