株式会社未来産業技術研究所
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600