圧電素子

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  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
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