圧電素子

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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