圧電素子

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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