圧電素子

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  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

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  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

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  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

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  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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