圧電素子

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年6月
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