圧電素子

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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