圧電素子

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  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

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  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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