圧電素子

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  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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