圧電素子

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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