圧電素子

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年6月
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