圧電素子

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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