圧電素子

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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