圧電素子

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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