半導体製造後工程

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年9月
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