分割分包機

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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