分割分包機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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