分割分包機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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