分割分包機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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