分割分包機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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