分割分包機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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