分割分包機

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年11月
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