分割分包機

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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