分割分包機

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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