分割分包機

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  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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