分割分包機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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