分割分包機

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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