分割分包機

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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