分割分包機

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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