分割分包機

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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