分割分包機

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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