分割分包機

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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