分割分包機

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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