分割分包機

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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