分割分包機

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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