分割分包機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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