分割分包機

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

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  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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