分割分包機

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  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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