分割分包機

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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