分割分包機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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