分割分包機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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