分割分包機

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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