分割分包機

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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