分割分包機

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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