分割分包機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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