分割分包機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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