分割分包機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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