分割分包機

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年2月
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