分割分包機

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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