分割分包機

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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