分割分包機

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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