分割分包機

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年5月
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