分割分包機

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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