分割分包機

  1. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  2. 真空オーブン ヤマト科学 ADP200

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  5. 低温恒温槽 エスペック製 MC-711T

  6. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  7. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

  8. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  9. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  1. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  2. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  4. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  5. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  6. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  7. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  8. クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS

  9. 電気マッフル炉 島津製作所 MP-15

  10. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

2026年5月
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