分割分包機

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  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

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  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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