分割分包機

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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