分割分包機

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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