分割分包機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年11月
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