分割分包機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
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