分割分包機

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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