分割分包機

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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