分割分包機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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