分割分包機

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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