分割分包機

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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