分割分包機

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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