分割分包機

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  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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