分割分包機
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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