分割分包機

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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