分割分包機

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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