ラビング装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
2026年6月
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