ラビング装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年9月
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