モールド装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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