モールド装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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