モールド装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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