モールド装置
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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