モールド装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
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