モールド装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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