モールド装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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