モールド装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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