モールド装置

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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