モールド装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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