モールド装置

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  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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