モールド装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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