モールド装置

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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