モールド装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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