モールド装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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