モールド装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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