モールド装置

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

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  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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