モールド装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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