モールド装置

倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP