モールド装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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