モールド装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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