モールド装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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