モールド装置
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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