モールド装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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