モールド装置
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
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四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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