モールド装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年2月
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