モールド装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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