モールド装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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