モールド装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年1月
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