モールド装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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