モールド装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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