モールド装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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