モールド装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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