モールド装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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