モールド装置

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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