メモリーハイコーダー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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