メモリーハイコーダー

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年6月
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