メモリーハイコーダー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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