メモリーハイコーダー
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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クイックコーター サンユー電子 SC-701
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
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