メモリーハイコーダー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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