メモリーハイコーダー

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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