メモリーハイコーダー
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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