メモリーハイコーダー

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2025年12月
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