メモリーハイコーダー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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