メモリーハイコーダー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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