メモリーハイコーダー

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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