メモリーハイコーダー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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