メモリーハイコーダー

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年6月
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