ポータブル溶存酸素計

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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