ポータブル溶存酸素計

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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