ポータブル溶存酸素計

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年2月
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