ポータブル溶存酸素計

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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