ポータブル溶存酸素計
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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